专注于真空薄膜领域 In Line Sputtering System 多腔室溅射设备 Co Sputtering System 共溅射系统 Ion Sputtering System 离子溅镀设备 Ultra high vacuum System 超高真空薄膜系统 PLD 激光脉冲沉积设备 Customer Design System 支持客户自定义薄膜系统

LJUHV拥有超过25年精密加工、半导体制程、电子仪控及专业真空及薄膜技术背景。公司服务于平面显示器制程设备、纳米尺度制程设备、超高真空技术、半导体制程设备等专业领域,设备应用的领域有:
ⅢⅤ族化合物半导体
白光LED
功率半导体
微系统制造
表面波组件
先进封装
纳米材料技术
CIGS太阳能溅镀
有机发光显视器等领域 |
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我们提供完善的真空科研验证设备,并建立了完整的核心真空技术由应用零件、系统规划设计、制造加工、清洗、焊接、表面处理、整合测试等服务为一体,公司拥有超高真空技术,溅镀/蒸镀系统,关键性零组件开发为核心技术,不管是在硅、化合物半导体/光电产品/太阳能应用或主被动组件的生产过程中,都能提供客户广泛的全方位应用解决方案。LJUHV借着建构自我品牌的策略,以高效能、高良率、并可依客户需求量身订制各种复杂解决方案,以专业的系统整合能力,提供客户整套性的服务。我们的制造的设备包括:
PLD脉冲激光镀膜系统
超高真空磁控溅镀设备
连续式真空磁控溅镀设备
离子溅镀设备
电子束蒸镀设备
热蒸镀系统
PECVD电浆辅助气相沉积设备 |
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公司也研发各式超高真空用之关键性零组件,包括:线性传输棒,旋转轴,XY平台,磁控溅镀靶,超高真空腔体,及各种真空系统之应用仪器,如全领域真空计,智能型膜厚监控仪,各种DC ,RF电源等。
公司在中国已拥有较广大的客户群,包括清华大学、哈工大、杰生电器,和一些知名的研究机构,包括中科院物理所、半导体所等知名科研机构。

详细信息请联系:
电话: 86-10-87721612,87721672
传真: 86-10-87721672
tom@hacori.com,何先生
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