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纳米工艺解决方案
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Nanoimprint Tool                 纳米压印设备
Nanoimprint Material          纳米压印材料                  
Nanoimprint Stamp              纳米压印印章


Fusion Mold Solutions 中间层压印解决方案

   压印效果可达10nm(纳米)

   最大可完成6英寸基板压印。

   支持高产量、高良率产品。

   适合Sanwich Fusion Mold 中间层压印技术

   适合非平整表面压印技术

   适合Roll to Roll 卷到卷纳米压印技术
 

Auto-Release Fuction 自动脱模技术

 

工艺实现步骤:
对准
放置wafer并固定位置
释放wafer中心位置真空
在Wafer和Mold之间加真空
压印图形
释放Wafer与mold之间的真空
Wafer 弹出
释放模板
自动脱膜工艺完成

 

Fusion mold 软膜中间层解决方案

   

Fusion软膜是一种软性、可变形、并有一定硬度的中间压印层。可以提供10nm的压印效果,并实现产品良率高达99%。由于软膜的特殊材料特性,最大程度地降低了压印产生的应力和瑕疵,同时软膜也具备了自清洗的功能。软膜同时具备对硬模板的保护功能,可以大大提高母版的使用寿命。是纳米压印量产化的重要技术保证。

应用实例

详细信息请联系:
 电话: 86-10-87721612,87721672
传真: 86-10-87721672, 13701339561

 
tom@hacori.com,何先生

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电话:86-10-87721612,87721672 传真:86-10-87721672 E-Mail:info@hacori.com 京ICP备09000867号