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超高真空热蒸镀设备 UHV Thermal Evaporation System

    
                                      热蒸镀设备LJTH-450

  类型:        1x20cc,4x70cc, 3KW, 6KW
  真空(Torr)  5×10-7,5×10-9
  压力控制:    可选
  流量控制:    可选
  加热:        400 ℃
  基板:        2,3,4,6,2"x5 or bigger
  晶片转速:    30-120rpm
  辅助沉积工艺:离子源辅助,等离子体辅助,基座偏压(Bias)
  loadlock:    可选
  真空計:      Ion/冷陰極/熱偶式 數位显示


   

                                              热蒸镀设备LJTH-400

详细信息请联系:
 
电话: 86-10-87721612,87721672
传真: 86-10-87721672
 
tom@hacori.com,何先生

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