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LJ-UHV生产和制造享有技术专利的真空设备部件及加工服务,主要部件包括:

PLD旋转靶座、离子源、回转轴、耗材、溅射靶、加热器、移动平台腔体及附件

 

         
         
       
           
             
             
                  
   
   

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