专注于真空薄膜领域In Line Sputtering System 多腔室溅射设备 Co Sputtering System 共溅射系统Ion Sputtering System 离子溅镀设备 Ultra high vacuum System 超高真空薄膜系统PLD 激光脉冲沉积设备 Customer Design System 支持客户自定义薄膜系统LJ-UHV生产和制造享有技术专利的真空设备部件及加工服务,主要部件包括:PLD旋转靶座、离子源、回转轴、耗材、溅射靶、加热器、移动平台腔体及附件
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