| 截止到2008年1月,ABM公司在世界范围售出了500多台光刻机,50多台单独曝光系统。著名的客户包括美国航天局NASA和INTEL、哈佛大学、LG、美国海军实验室、菲利普、惠普、3M等,ABM在中国各地也拥有不同领域的客户,包括众多的工厂、知名大学和研究所等。 
 
 
 厚胶光刻工艺     应用实例1:ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
  Scanning Electron Micrographs 电子显微镜图像 
  Feature Sizes图像尺寸: 25 x 25 微米方形 
      应用实例2:ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
  Scanning Electron Micrograph Feature Sizes: 10 microns square Photoresist Height: 50microns
 
  采用AZ PLP 50XT 光刻胶 
  使用Su-8胶曝光的,特征尺寸10x10微米,光刻胶高度为50um图形(深宽比5:1) 
 
  
 
 应用实例3:ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
 
  Scanning Electron Micrograph Feature Sizes: 30 microns square SU-8 Height: 300 microns 
  使用Su-8胶曝光的,特征尺寸30x30微米,高度为300um图形(深宽比10:1) 
 
              ABM亚太总部拥有自己的光刻工艺实验室,可为我们的客户提供厚胶光刻及其他光刻工艺技术服务。以满足客户的工艺的要求。  下载设备资料 
 详细信息请联系:
 
  电话: 86-10-87721612,87721672 
  传真: 86-10-87721672 
  tom@hacori.com,何先生
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