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截止到2008年1月,ABM公司在世界范围售出了500多台光刻机,50多台单独曝光系统。著名的客户包括美国航天局NASA和INTEL、哈佛大学、LG、美国海军实验室、菲利普、惠普、3M等,ABM在中国各地也拥有不同领域的客户,包括众多的工厂、知名大学和研究所等。


厚胶光刻工艺

    应用实例1:ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
     Scanning Electron Micrographs 电子显微镜图像
     Feature Sizes图像尺寸: 25 x 25 微米方形
   

    应用实例2:ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
   
 Scanning Electron Micrograph Feature Sizes: 10 microns square Photoresist 
        Height: 50microns 
     采用AZ PLP 50XT 光刻胶
     使用Su-8胶曝光的,特征尺寸10x10微米,光刻胶高度为50um图形(深宽比5:1)

              


    应用实例3:ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
   
 Scanning Electron Micrograph Feature Sizes: 30 microns square SU-8 Height: 300 microns 
     使用Su-8胶曝光的,特征尺寸30x30微米,高度为300um图形(深宽比10:1)

   

            ABM亚太总部拥有自己的光刻工艺实验室,可为我们的客户提供厚胶光刻及其他光刻工艺技术服务。以满足客户的工艺的要求。

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详细信息请联系:
 
电话: 86-10-87721612,87721672
传真: 86-10-87721672
 
tom@hacori.com,何先生

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