AIT RP-2/4 Serial Solder Plating Station 主要特点为: 良好的均匀性,可实现6“wafer电镀表面的均匀性为<+/-5%。 整流电源稳定通过wafer的电流无纹波现象 提供良好的温控均匀性,+/-1 degree C,保证电镀速率及颗粒大小的均匀性 提供工艺支持包括电镀液及其配方,并指导客户完成最好的工艺效果。 所有及材料及备件包括电镀槽、链接管路、泵、接口等均采用特殊抗腐蚀材料制 作,使用寿命长。 良好安全密封性和气密性,保证用户的安全。 AIT RP-2 双槽电镀设备 AIT RP-4 4槽电镀设备 特殊设计的钛制搅拌棒 稳定的DC/Pulse电源保证电流的稳定 可进行角度及速度的调节