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当前位置:首页 > AIT凸点电镀设备 > 凸点制作工艺难点

凸点相关工艺难点

 在制作UMB焊盘时需根据不同的材料及应用,需要对溅射层的厚度或材料进行选择
 厚胶工艺:厚胶涂胶工艺,厚胶光刻工艺
 稳定的电镀液配方
 在高铅凸点中,由于回流温度的升高,需制作阻断层,防止材料间的渗透,需要掌握阻断
    层窗口特征尺寸
 稳定的电镀液配方,DC或Pulse工艺,凸点电镀均匀性的保证,防止凸点内气泡
 化学刻蚀配方
 回流温度曲线及工艺参数掌握
  
    
       
                                      镍阻断层图像分析   

ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要
   
 Scanning Electron Micrograph Feature Sizes: 30 microns square SU-8 Height:
300 microns 
     使用Su-8胶曝光的,特征尺寸30x30微米,高度为300um
图形(深宽比10:1)

   

 

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