在制作UMB焊盘时需根据不同的材料及应用,需要对溅射层的厚度或材料进行选择 厚胶工艺:厚胶涂胶工艺,厚胶光刻工艺 稳定的电镀液配方 在高铅凸点中,由于回流温度的升高,需制作阻断层,防止材料间的渗透,需要掌握阻断 层窗口特征尺寸 稳定的电镀液配方,DC或Pulse工艺,凸点电镀均匀性的保证,防止凸点内气泡 化学刻蚀配方 回流温度曲线及工艺参数掌握 镍阻断层图像分析
ABM光刻机与CEE涂胶设备可满足客户对厚胶光刻的需要 Scanning Electron Micrograph Feature Sizes: 30 microns square SU-8 Height: 300 microns 使用Su-8胶曝光的,特征尺寸30x30微米,高度为300um图形(深宽比10:1)