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纳米工艺解决方案
Nanoimprint Lightgraphy    纳米光学
Nano Fabriction Solution    纳米结构加工和制作
Nanoimprint Tool                 纳米压印设备
Nanoimprint Material          纳米压印材料                  
Nanoimprint Stamp              纳米压印印章


NANO IMPRINT 纳米结构加工制作服务

NILT使用现有设备及工艺经验为用户提供纳米结构加工与制作服务,包括研发样品和批量生产:
 可加工衬底尺寸:6英寸,8英寸
 衬底材料-用户指定
 热压工艺,UV压印,混合压印
 提供工艺支持服务

ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY 电子束光刻EBL工艺

NILT利用高性能 (100KV Gaussian) 电子束光刻设备,提供纳米加工服务。

Specifications Gaussian shaped system Variable shaped system
最小尺寸 20 nm 60 nm
衬底尺寸
2 inch, 4 inch, 6 inch wafers
65 mm x 65 mm template blanks, 6025 mask blanks
6 inch wafers
设计格式 GDSII, DXF, TDB, CIF GDSII, DXF, TDB, CIF
   
       

PROCESSING SERVICE 工艺支持
NILT将根据客户的需要提供更多的工艺支持服务:
 Lithography 光学
 Etching 刻蚀
 Mental Deposition 金属镀膜
 Test and Others 测试及其他服务

CLEAN ROOM FACILITES 超静间厂房及相关工艺设备
NILT拥有3个10-100级别的超净实验室。主工艺车间面见为1300平方米,设备包括
 Electron beam lithography (Jeol JBX9300FS, 100keV, Vistec SB352HR, 100keV) 电子束光刻
 Nanoimprint lithography Molecular Imprint, NanoLithoSolution, Obducat) 压印设备
 ICP, RIE, DRIE for Si, Qz, Al, Cr 干法刻蚀
 Test and Others (SEM, AFM, Profilometer) 检测设备
 Others: LPCVD PECVD 其他工艺设备

应用实例:

详细信息请联系:
 电话: 86-10-87721612,87721672
传真: 86-10-87721672, 13701339561

 
tom@hacori.com,何先生

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电话:86-10-87721612,87721672 传真:86-10-87721672 E-Mail:info@hacori.com 京ICP备09000867号